洁净室工程

2019-08-30 13:57 28

 洁净室的发展与现代工业、技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。


洁净室设计是一项相关专业综合完成的设计技术,它与一般工业厂房设计有类似之处,但也具有自身的特点,其主要的特点如下:


根据洁净室拟生产的产品的门类、品种或使用情况,确定所设计洁净室的控制对象及技术要求,如对生物洁净室,其控制对象是空气中的尘粒、微生物种类和浓度、压差等的要求是不同的,又如集成电路生产用洁净室,其控制对象主要是空气中的尘粒,按集成电路的特征尺寸,集成度的不同,对空气洁净度等级、防微振、高纯特质等的要求是不同的,应按具体工厂的产品品种确定。

为确保洁净内所必须的空气洁净度,洁净室设计中涉及到的各个专业设计均应采取妥善的、可靠的技术措施,以减少或防止室内产尘、滋生微生物,减少或阻止将微粒/微生物或可能会造成交叉污染的物料带入洁净室内,有效地将室内的微粒/微生物排出,以减少或防止它们滞留洁净室内,对于因尘粒/微生物或物料的交叉污染会危害产品质量或人身安全时,还应采取安全,可靠的技术措施防止交叉污染,如严格控制不同用途的洁净室之间的静压差,按要求合理地划分净化空调系统以及回风系统的妥善设计等。

洁净室设计是各专业设计技术的综合,尤其是洁净室的工艺设计、洁净建筑设计、空气净化设计和各种特殊要求的设计技术的密切协同,相互渗透和合理安排的综合设计,洁净室设计应做到顺应工艺(或使用)流程、合理选择各类设备和装置,尽力实现人流和物流的顺畅短捷、气流流性选择得当,净化空调系统配置合理、各种特殊要求的技术措施得当,洁净厂房的平面、空间布置合理,实现可靠经济运行的洁净厂房设施。

洁净室设计应确保安全生产和满足环境保护的要求,洁净室的布置和各项设施的设计均必须符合消防、防火的要求,应按的有关标准,规范进行设计,由于洁净室内的平面和空间布置特殊,走道曲折等特点,在进行各项技术设施的系统设计、设备配置和材质选择时,应特别注意按规定选用符合要求的系统,设备和材质。

随着科学技术的发展,工业产品的更新换代很快,人们对生活质量要求也越来越高,工业洁净室、生物洁净室的建造日新月异,因此洁净室设计本身便具有高新技术、技术密集和资金密集的特点,为了提高洁净室建成后的技术经济效益,在进行洁净室设计时应设法尽可能地考虑一定的灵活性,以便使建成后的洁净室能随着科学技术的发展,可以方便地进行技术改造,适应产品换代或设备更新的要求。


Tel
Email
Map
QQ